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    旋涂速度:0~ 4519 rpm
    旋涂加速度:0 ~ 79948 rpm/s (空載)   
    轉速穩定性:1 rpm
    轉速可重復性:1 rpm                                                                                                              
    鍍膜尺寸:φ10 ~ 123 mm                                1
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